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半導体を、ウエハーの状態で検査する装置です。
高速信号技術により複数チップを同時に高速で駆動し、電流や光量を計測し、チップの性能を検査します。
プローバー上のチップからドライバーまで2ｍ以上のグランド線を使用するという厳しい条件下で実現しました。
画像処理も併用し、大幅なタクトタイムの短縮が実現できました。 |
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200nsecのクロックで、Ch2,3のアナログ信号を切替えながら、
素子を駆動させています。クロックの分解能は10nsecです。 |
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| 8枚のドライバーを4組同時に駆動しながら、計測しています。 |
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© 2009 ARTEK INC.
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